產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
全氟醚橡膠能夠在260~290℃的溫度範(fàn)圍內(nèi)穩(wěn)定工作，並且能夠間歇性地承受高達(dá)316℃的高溫。
詳情介紹：
全氟醚橡膠在半導(dǎo)體製造中能抵禦蝕刻液、清洗液等強腐蝕性化學(xué)藥液的侵蝕，主要以O(shè)型圈、密封圈等形式應(yīng)用於半導(dǎo)體製造設(shè)備的真空係統(tǒng)和工藝腔體，能夠在高溫和等離子體環(huán)境中保持低析出、高潔淨(jìng)度，避免汙染晶圓。
